Przewodnik użytkownika po elipsometrii

Opinie czytelników

Książka jest wysoko ceniona wśród użytkowników za jasne wprowadzenie do elipsometrii, dostarczając praktycznej wiedzy i spostrzeżeń szczególnie korzystnych dla początkujących. Zawiera podstawowe pojęcia, równania i studia przypadków, dzięki czemu jest wszechstronnym przewodnikiem, choć ogranicza się do pomiarów pojedynczej długości fali.

⬤ Doskonałe wprowadzenie dla nowicjuszy w dziedzinie elipsometrii.
⬤ Przejrzyste wyjaśnienia podstawowych pojęć i równań.
⬤ Praktyczne podejście do trudności eksperymentalnych.
⬤ Wartościowe studia przypadków do zastosowania wiedzy.
⬤ Dobra cena i szybka dostawa.

⬤ Ograniczenie do instrumentów o jednej długości fali i jednym kącie.
⬤ Nie obejmuje elipsometrii spektroskopowej, która jest coraz bardziej powszechna.

(na podstawie 7 opinii czytelników)

Oryginalny tytuł:

A User's Guide to Ellipsometry

Zawartość książki:

Ten tekst z zakresu optyki dla studentów studiów magisterskich wyjaśnia, jak określać właściwości i parametry materiałów dla niedostępnych podłoży i nieznanych warstw, a także jak mierzyć bardzo cienkie warstwy. 14 studiów przypadków ilustruje koncepcje i wzmacnia zastosowania elipsometrii - szczególnie w odniesieniu do przemysłu półprzewodników oraz badań obejmujących korozję i wzrost tlenków.

A User's Guide to Ellipsometry pozwoli czytelnikom wyjść poza ograniczone, gotowe zastosowania elipsometrów. Oprócz kompleksowego omówienia pomiaru grubości powłoki i stałych optycznych w powłoce, uwzględniono również trajektorie parametrów elipsometrycznych Del i Psi oraz wpływ zmian materiałów na parametry.

W tym tomie omówiono również zastosowanie polikrzemu, materiału powszechnie stosowanego w przemyśle mikroelektronicznym, oraz wpływ chropowatości podłoża. Trzy dodatki zawierają pomocne odniesienia.