Elipsometria spektroskopowa: Praktyczne zastosowanie do charakteryzacji cienkich warstw

Opinie czytelników

Obecnie brak opinii czytelników. Ocena opiera się na 8 głosach.

Oryginalny tytuł:

Spectroscopic Ellipsometry: Practical Application to Thin Film Characterization

Zawartość książki:

Elipsometria jest eksperymentalną techniką określania grubości i właściwości optycznych cienkich warstw.

Idealnie nadaje się do filmów o grubości od sub-nanometrów do kilku mikronów. Pomiary spektroskopowe znacznie rozszerzyły możliwości tej techniki i wprowadziły jej zastosowanie we wszystkich obszarach, w których występują cienkie warstwy: urządzenia półprzewodnikowe, płaskie panele i wyświetlacze mobilne, stosy powłok optycznych, powłoki biologiczne i medyczne, warstwy ochronne i inne.

Chociaż istnieje kilka książek naukowych na ten temat, ta książka stanowi dobre wprowadzenie do podstawowej teorii techniki i jej powszechnych zastosowań. Docelowymi odbiorcami nie są naukowcy zajmujący się elipsometrią, ale inżynierowie procesowi i studenci materiałoznawstwa, którzy są ekspertami w swoich dziedzinach i chcą wykorzystać elipsometrię do pomiaru właściwości cienkich warstw bez konieczności zostania ekspertem w samej elipsometrii.