
Microwave Discharges - Theory & Applications (Plasma Physics Series)
Cytując z przedmowy: "Większość autorów tej książki to znani specjaliści w różnych dziedzinach fizyki plazmy mikrofalowej, techniki i przetwarzania plazmy.
Tematy obejmują wszystkie problemy teorii, eksperymentów i zastosowań wyładowań mikrofalowych oraz przedstawiają najnowsze trendy w teorii wyładowań, modelowaniu i diagnostyce, metodach generowania plazmy mikrofalowej, wyładowaniach mikrofalowych o wysokim i niskim ciśnieniu, oddziaływaniu mikrofal z plazmą, zastosowaniach plazmy mikrofalowej (obróbka powierzchni, trawienie, osadzanie warstw, wzrost struktur, źródła światła, chemia analityczna itp. ) Mamy nadzieję, że książka ta będzie przydatna dla wszystkich specjalistów zajmujących się fizyką i przetwarzaniem plazmy niskotemperaturowej.