Wprowadzenie do nanometrologii zogniskowanej wiązki jonów

Oryginalny tytuł:

Introduction to Focused Ion Beam Nanometrology

Zawartość książki:

Niniejsza książka opisuje nowoczesne mikroskopy i techniki zogniskowanej wiązki jonów oraz sposób, w jaki można je wykorzystać do wspomagania metrologii materiałów i jako narzędzia do wytwarzania urządzeń, które z kolei są wykorzystywane w wielu innych aspektach podstawowej metrologii.