Technologia wytwarzania układów scalonych III-V

Opinie czytelników

Obecnie brak opinii czytelników. Ocena opiera się na 2 głosach.

Oryginalny tytuł:

III-V Integrated Circuit Fabrication Technology

Zawartość książki:

Przetwarzanie GaAs osiągnęło dojrzały etap.

Pojawiają się nowe związki półprzewodnikowe, które zdominują przyszłe badania nad materiałami i urządzeniami, chociaż techniki przetwarzania GaAs nadal pozostaną istotne. Niniejsza książka obejmuje wszystkie aspekty obecnego stanu techniki przetwarzania III-V, z naciskiem na HBT.

Jest ona skierowana do praktykujących inżynierów i absolwentów oraz inżynierów nowych w dziedzinie przetwarzania półprzewodnikowych układów scalonych III-V. Głównym celem książki jest omówienie wszystkich aspektów przetwarzania urządzeń aktywnych i pasywnych, od wzrostu kryształów po przetwarzanie tylnej strony, w tym litografię, trawienie i osadzanie warstw.