Przetwarzanie warstw atomowych: Technologia suchego wytrawiania półprzewodników

Opinie czytelników

Obecnie brak opinii czytelników. Ocena opiera się na 2 głosach.

Oryginalny tytuł:

Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology

Zawartość książki:

Poznaj podstawowe i zaawansowane tematy związane z trawieniem dzięki temu praktycznemu przewodnikowi.

Atomic Layer Processing: Technologia suchego wytrawiania półprzewodników to praktyczne, kompleksowe źródło wiedzy na temat technologii wytrawiania i ich zastosowań. Wybitny naukowiec, dyrektor i autor oferuje czytelnikom dogłębne informacje na temat różnych technologii trawienia stosowanych w przemyśle półprzewodnikowym, w tym termicznego, izotropowego trawienia warstw atomowych, radykalnego, wspomaganego jonami i reaktywnego trawienia jonowego.

Książka rozpoczyna się od krótkiej historii technologii trawienia i roli, jaką odegrała ona w rewolucji informatycznej, wraz ze zbiorem powszechnie używanej terminologii w branży. Następnie przechodzi do omówienia różnych technik trawienia, po czym kończy się dyskusją na temat podstaw projektowania reaktorów do trawienia i nowo pojawiających się tematów w tej dziedzinie, takich jak rola sztucznej inteligencji w tej technologii.

Książka Atomic Layer Processing zawiera również wiele innych tematów, z których wszystkie przyczyniają się do osiągnięcia celu autora, jakim jest zapewnienie czytelnikowi zrozumienia technologii suchego trawienia na poziomie atomowym, wystarczającego do opracowania konkretnych rozwiązań dla istniejących i powstających technologii półprzewodnikowych. Czytelnicy skorzystają z

⬤ Kompletne omówienie podstaw usuwania atomów z różnych powierzchni.

⬤ Analiza nowych technologii trawienia, w tym trawienia laserowego i wspomaganego wiązką elektronów.

⬤ Omówienie kontroli procesu w technologii trawienia i roli, jaką odgrywa w niej sztuczna inteligencja.

⬤ Analizy szerokiej gamy metod trawienia, w tym trawienia termicznego lub parowego, izotropowego trawienia warstw atomowych, trawienia rodnikowego, kierunkowego trawienia warstw atomowych i innych.

Idealna dla naukowców zajmujących się materiałami, fizyków półprzewodników i chemików powierzchni, książka Atomic Layer Processing znajdzie również miejsce w bibliotekach naukowców zajmujących się inżynierią w przemyśle i środowisku akademickim, a także wszystkich osób zaangażowanych w produkcję półprzewodników. Bliskie zaangażowanie autora w korporacyjne badania i rozwój oraz badania akademickie pozwala książce zaoferować wyjątkowo wieloaspektowe podejście do tematu.