Produkcja wafli: Kształtowanie wafli z pojedynczego kryształu krzemu

Oryginalny tytuł:

Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers

Zawartość książki:

Przedstawia wszystkie główne etapy produkcji wafli, od kryształów po najlepsze wafle.

Książka ta najpierw przedstawia fizykę, związaną z nią metrologię, modelowanie procesu i wymagania jakościowe, a następnie omawia techniki formowania i przygotowania powierzchni wafli. Całość dopełnia rozdział poświęcony badaniom i przyszłym wyzwaniom w produkcji wafli.