Praktyka TOF-SIMS: spektrometria mas jonów wtórnych w czasie przelotu

Oryginalny tytuł:

The Practice of TOF-SIMS: Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry

Zawartość książki:

Spektrometria mas jonów wtórnych w czasie przelotu (TOF-SIMS) jest techniką analityczną o wysokiej czułości powierzchniowej, która dostarcza informacji o składzie z submikronową rozdzielczością boczną. W przypadku wybranych materiałów TOF-SIMS zapewnia niezrównaną czułość wraz z doskonałą odtwarzalnością, a jako technika spektrometrii mas zapewnia również doskonałą specyficzność.

Spośród dostępnych metod analitycznych jest to jedna z najbardziej czułych na powierzchnię, ale zasady fizyczne, które leżą u jej podstaw, są również najmniej zrozumiałe. Niniejszy tom opisuje oprzyrządowanie, zasady fizyczne stojące za techniką w zakresie, w jakim są one zrozumiałe, i zapewnia praktyczne podejście do interpretacji danych TOF-SIMS.

Wykorzystanie zaawansowanych metod przetwarzania danych, takich jak statystyki wielowymiarowe, opisano w przystępny sposób. Biorąc pod uwagę podstawowe podstawy chemii i fizyki na poziomie licencjackim, książka będzie przydatna dla każdego studenta zainteresowanego tą techniką.