Fundamental of micro/nano fabrication
W tej książce opisano zależny od naprężeń proces termicznego wzrostu mokrego tlenku. Szybkość utleniania krzemu jest funkcją orientacji kryształu i kąta przecięcia płaszczyzn.
Opisano procesy mikroobróbki powierzchni krzemu w celu uzyskania wolnostojącej struktury mechanicznej i unikalnych cech trójwymiarowych. Podczas mikrofabrykacji należy wziąć pod uwagę mikroobróbkę objętościową i wytrawianie. Schemat i mikrograf SEM opisują metal (aluminium) napylany na tlenkową piramidalną sondę wspornikową w celu utworzenia metalicznej nano-otworu.
Teoretyczna koncepcja pola bliskiego i dalekiego została wyjaśniona za pomocą wytworzonego trójkątnego i prostokątnego układu wsporników NSOM z sondą NSOM. W celu zmniejszenia poziomu szumów i wysokiej transmisji optycznej przez sondę, zaprojektowana sonda wspornikowa NSOM ma masywny Si pod sondą.
Aby scharakteryzować główny komponent wsporników, to transmisja optyczna przez sondę NSOM i częstotliwość rezonansowa. Częstotliwość rezonansowa wsporników zależy od ich wymiarów.
Transmisja optyczna jest mierzona przez aperturę sondy NSOM.