Handbook of Semiconductor Silicon Technology
Niniejszy podręcznik stanowi kompleksowe podsumowanie nauki, technologii i produkcji półprzewodnikowych materiałów krzemowych. Każda znana właściwość krzemu jest szczegółowo opisana.
Dołączony jest kompletny zestaw binarnych diagramów fazowych. Dogłębnie omówiono również aspekty praktyczne, takie jak obsługa materiałów, bezpieczeństwo, redukcja zanieczyszczeń i defektów. Podstawy w obszarach prekursorów krzemowych, polikrzemu, wzrostu kryształów krzemu, wytwarzania wafli, epitaksji i osadzania CVD zostały omówione przez ekspertów w tych dziedzinach.
Omówione właściwości materiałów obejmują właściwości elektryczne, optyczne i mechaniczne, zanieczyszczenia głębokiego poziomu i żywotność nośników oraz termochemię, a także szczegółowe sekcje dotyczące zanieczyszczeń tlenem, węglem i azotem. Książka zawiera obszerny zestaw odniesień, tabele stałych materiałowych i właściwości krzemu, a także prezentację stanu wiedzy na temat produkcji materiałów.