Podręcznik chemicznego osadzania z fazy gazowej: Zasady, technologia i zastosowania

Opinie czytelników

Obecnie brak opinii czytelników. Ocena opiera się na 2 głosach.

Oryginalny tytuł:

Handbook of Chemical Vapor Deposition: Principles, Technology and Applications

Zawartość książki:

Podręcznik chemicznego osadzania z fazy gazowej: Principles, Technology and Applications zawiera informacje dotyczące podstawowych aspektów chemicznego osadzania z fazy gazowej. Książka ta omawia zastosowania chemicznego osadzania z fazy gazowej, które jest stosunkowo elastyczną technologią, która może pomieścić wiele odmian.

Podzielona na 12 rozdziałów książka rozpoczyna się od przeglądu teoretycznego badania procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej. Następnie opisano główne reakcje chemiczne i dokonano przeglądu systemów i urządzeń do chemicznego osadzania z fazy gazowej wykorzystywanych w badaniach i produkcji. W innych rozdziałach omówiono materiały osadzane metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej.

Książka omawia również potencjalne zastosowania chemicznego osadzania z fazy gazowej w półprzewodnikach i elektronice. Ostatni rozdział dotyczy implantacji jonów jako głównego procesu w produkcji półprzewodników.

Książka ta jest cennym źródłem wiedzy dla naukowców, inżynierów i studentów. Książka ta będzie również przydatna dla menedżerów produkcji i marketingu oraz dostawców sprzętu, materiałów i usług.