Micromachined Circuits and Devices: Microwave to Sub-Millimeter Applications
Niniejsza książka przedstawia projektowanie różnych urządzeń przełączających i rezonansowych przy użyciu najnowocześniejszej technologii mikroobróbki (MEMS) częstotliwości radiowych (RF). Omówiono różne topologie przełączników MEMS, biorąc pod uwagę optymalną wydajność w zakresie częstotliwości od mikrofal do fal milimetrowych.
Omówiono szeroką gamę mikromechanicznych sieci przełączających, począwszy od jednobiegunowych podwójnych (SPDT) do jednobiegunowych czternastobiegunowych (SP14T), wykorzystując pionowe i boczne ruchy przełącznika. Podkreślono różne mechanizmy transdukcji mikromechanicznych rezonatorów, w tym typy pojemnościowe, piezoelektryczne i piezorezystancyjne. Książka zawiera główne wytyczne projektowe dotyczące rozwoju cyfrowych przesuwników fazowych opartych na MEMS, przestrajalnych filtrów i anten z obszernymi danymi pomiarowymi.
Oprócz wymagań dotyczących częstotliwości radiowych (RF), podano obszerne wytyczne dotyczące poprawy niezawodności mikroprzełączników i cyfrowych przesuwników fazowych, w których wiele przełączników działa jednocześnie. Aby uzyskać niezawodny cyfrowy przesuwnik fazowy MEMS, potrzeba wielu iteracji i obszernych charakterystyk, a aspekty te są jednym z głównych aspektów tej książki.
Szczegółowa analiza wydajności przełączników MEMS inspirowanych metamateriałami jest następnie omawiana pod kątem zastosowania w pasmach częstotliwości fal milimetrowych do około 170 GHz. Książka kończy się przyszłymi badaniami nad technologią RF MEMS i jej potencjałem w kosmosie, obronie, czujnikach i zastosowaniach biomedycznych.
