Nanofabrication: Nanolithography techniques and their applications
Kompleksowo zredagowany tom poświęcony ważnym i aktualnym technikom i zastosowaniom nanolitografii. Książka zawiera wprowadzenie na temat znaczenia nanolitografii w dzisiejszych badaniach i technologii, podając przykłady jej zastosowań.
Pozostała część książki podzielona jest na dwie części. Pierwsza sekcja zawiera najważniejsze i uznane techniki nanolitografii. Oprócz szczegółowego opisu każdej techniki, czytelnik może uzyskać przydatne informacje na temat głównych zalet i wad każdej techniki pod względem rozdzielczości, przepustowości, liczby potrzebnych kroków, kosztów itp. Pod koniec tej sekcji czytelnik będzie mógł zdecydować, której techniki użyć do różnych zastosowań.
W drugiej sekcji omówiono bardziej szczegółowe zastosowania wcześniej opisanych technik nanolitografii, a także nowe techniki i zastosowania. W niektórych przypadkach procesy opisane w tych rozdziałach obejmują połączenie kilku technik nanolitografii. Ta sekcja jest mniej ogólna, ale dostarcza czytelnikowi rzeczywistych przykładów.
Kluczowe cechy
⬤ Idealnie nadaje się dla studentów studiów magisterskich / doktoranckich, którzy potrzebują podstawowej wiedzy na temat technik nanolitografii oraz tego, jak / gdzie można je zastosować.
⬤ Zawiera najnowocześniejsze informacje z aktualnymi referencjami dla naukowców i inżynierów, którzy chcą poszerzyć lub zaktualizować swoją wiedzę na temat nanofabrykacji.
⬤ Wszystkie rozdziały zostały napisane przez wiodących światowych ekspertów w swoich obszarach badawczych.
⬤ Podejście pedagogiczne; każdy rozdział powinien zawierać praktyczne przykłady, studia przypadków i podsumowanie na końcu rozdziału.
⬤ Zawiera elementy interaktywne, takie jak animacje wideo.