Chemistry of Atomic Layer Deposition
Książka ta pomoże zarówno chemikom, jak i nie-chemikom zrozumieć podstawy chemii powierzchni i projektowania prekursorów oraz sposób, w jaki te prekursory napędzają procesy osadzania warstw atomowych, a także w jaki sposób interakcja powierzchnia-prekursor reguluje procesy osadzania warstw atomowych.
Podstawowe zasady osadzania warstw atomowych opierają się na chemii prekursora z powierzchnią.