Six Degree of Freedom Active Vibration Isolator Using Voice Coil Motor
Precyzyjne przyrządy pomiarowe o rozdzielczości nanometrów są niemal zawsze podatne na zakłócenia przenoszone głównie przez wibracje podłoża, a także inne źródła, takie jak hałas akustyczny i bezpośrednie wibracje mechaniczne.
Pomimo tego, że sam przyrząd jest zaprojektowany tak, aby radzić sobie z takimi zakłóceniami, badacze w tej dziedzinie wciąż potrzebują inteligentnego sposobu, aby odpowiednio wyeliminować ten problem, tak aby ich wyniki pomiarowe były bardziej wiarygodne. W niniejszej książce zaproponowano rozwiązanie polegające na zastosowaniu hybrydowego aktywno-pasywnego systemu izolacji drgań pomiędzy instrumentem a podłożem w celu wyeliminowania drgań przenoszonych z podłoża, jak również bezpośrednich zakłóceń przenoszonych z ruchomych części instrumentu na płytę nośną ładunku we wszystkich sześciu stopniach swobody.
Powodem tego hybrydowego rozwiązania jest wykorzystanie zarówno etapu pasywnego, jak i aktywnego. W ramach niniejszych badań zaproponowano zatem realizację sześcioosiowego hybrydowego aktywnego systemu pasywnego, który może pracować jako mikrowibroizolator stołowy dla precyzyjnych przyrządów pomiarowych, takich jak mikroskopy ze skanującą sondą, a także dla niektórych stopni silników liniowych o małych wymiarach.