Mems Resonator Filters
Wykorzystanie rezonatorów MEMS do przetwarzania sygnałów jest stosunkowo nowe i może potencjalnie zmienić topologię obwodów nowszej generacji. Konieczne będzie uwzględnienie nowych materiałów, procesów projektowania i produkcji oraz integracji z konwencjonalnymi obwodami.
Niniejsza książka bada wyzwania i możliwości związane z opracowywaniem obwodów z filtrami rezonatorowymi MEMS. W książce omówiono zastąpienie klasycznych komponentów elektrycznych komponentami elektromechanicznymi oraz specyficzne właściwości rezonatorów MEMS wymagane w różnych zakresach częstotliwości. Szczegółowo omówiono materiały i ich dobór, narzędzia CAD do projektowania systemów i integracji MEMS z obwodami CMOS, a także projektowanie, wytwarzanie, testowanie i pakowanie samych filtrów MEMS.
Studia przypadków, w których rezonatory MEMS zostały wykorzystane jako komponenty, zostały uwzględnione, aby zachęcić czytelników do rozważenia praktycznych zastosowań tej technologii.
Książka MEMS Resonator Filters jest niezbędną lekturą dla społeczności projektantów obwodów analogowych, szczególnie tych, którzy projektują obwody do komunikacji bezprzewodowej, a także badaczy i inżynierów technologii CMOS, którzy są zaangażowani w produkcję obwodów. Zainteresowani będą również projektanci czujników i obwodów łączących, ponieważ rezonatory są również wykorzystywane jako czujniki.